1、气垫运输，光刻机运输中需要保证全程加气垫，避免因为震动而使内部遭到破坏 。
2、真空木箱打包，因为光刻机运输要保持全程恒温恒压，所以要使用真空木箱打包技术 。
【光刻机是怎么运输的】3、恒温气垫车运输，光刻机运输过程中，温度要保持在26度，湿度要保持在40度，因此要用特种运输车辆来运输 。
以上就是光刻机是怎么运输的的内容啦，希望本文可以帮到你！
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